[20p-P01-1~8] 6.2 カーボン系薄膜

[20p-P01-8] 非晶質炭素膜の電気絶縁性と表面特性に対する硫酸浸漬の影響

〇一條 瑛巴¹、金杉 和弥¹、平塚 傑工²、中森 秀樹³、平栗 健二¹ (1.電機大工、2.株式会社トッケン、3.ナノテック株式会社)

キーワード：

DLC、電気絶縁性、耐酸性