[18p-A32-20~20] 8.6 Plasma Electronics English Session | 2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)8 プラズマエレクトロニクス：8.6 Plasma Electronics English Session

[18p-A32-20~20]8.6 Plasma Electronics English Session

2024年9月18日(水) 18:45 〜 19:00

A32 (朱鷺メッセ3F)

呉準席(阪公大)

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18:45 〜 19:00英語発表

[18p-A32-20]Investigation of Metal-Organic Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition for Yttrium Oxide film using a Microwave Excited Atmospheric Pressure Plasma Jet

〇(DC)Bat-Orgil Erdenezaya¹, Hirochika Uratani¹, Ruka Yazawa¹, Md. Shahiduzzaman¹, Tetsuya Taima¹, Yusuke Nakano¹, Yasunori Tanaka¹, Tatsuo Ishijima¹ (1.Kanazawa University)

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