2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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一般セッション(口頭講演)8 プラズマエレクトロニクス：8.6 Plasma Electronics English Session

[18p-A32-20~20]8.6 Plasma Electronics English Session

2024年9月18日(水) 18:45 〜 19:00
A32 (朱鷺メッセ3F)
呉 準席(阪公大)
18:45 〜 19:00英語発表

[18p-A32-20]Investigation of Metal-Organic Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition for Yttrium Oxide film using a Microwave Excited Atmospheric Pressure Plasma Jet

〇(DC)Bat-Orgil Erdenezaya1, Hirochika Uratani1, Ruka Yazawa1, Md. Shahiduzzaman1, Tetsuya Taima1, Yusuke Nakano1, Yasunori Tanaka1, Tatsuo Ishijima1 (1.Kanazawa University)
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