準大気圧プラズマは、処理対象へのラジカル作用量の面で大気圧に比べて優位と考えられる。準大気圧酸素中の針対球パルスバリア放電において、酸素原子の分布をレーザー誘起蛍光法で測定したところ、ガラス球陰極近傍で酸素原子生成量が顕著に多いことが分かった。酸素原子の2次元分布を測定した結果、酸素原子生成領域がガラス表面に沿って広い範囲に分布しており、放電発光領域とは異なることが判明した。