講演情報
[22a-P01-18]ミリ波帯におけるNbTiN薄膜の表面抵抗の評価
〇(M1)大上 純平1、増井 翔2、小嶋 崇文2、寺井 弘高3、武田 正典1 (1.静大院総合、2.国立天文台、3.情報機構)
キーワード：
超伝導,表面抵抗
我々はミリ波帯で動作する進行波型超伝導パラメトリック増幅器（KITWPA）の実現を目指している．マイクロ波帯KITWPAには，抵抗率が高くカイネティックインダクタンスが大きい多結晶NbTiN薄膜が良く用いられている．しかし，ミリ波帯ではマイクロ波帯よりも超伝導薄膜の表面抵抗が顕著に大きくなるため，伝送損失による利得の大幅な低下が懸念される．一方， NbTiN薄膜はMgO基板上にエピタキシャル成長できることが知られており，その抵抗率は多結晶NbTiN薄膜より小さい．今回，ミリ波帯KITWPAの材料選定や利得解析を行うにあたり，MgO基板及びサファイア基板上のNbTiN薄膜半波長共振器を作製し，それらの表面抵抗を評価した．