[22p-1BN-1~9] レーザー改質プロセスの基礎と先端技術

14:05 〜 14:35

[22p-1BN-3] 金属多層膜への超短パルスレーザー照射による非熱的合金化

〇富田 卓朗¹ (1.徳島大理工)

キーワード：

超短パルスレーザー,金属多層膜,非熱的合金化

我々はこれまでに、透明な材料であるワイドバンドギャップ半導体へ金属材料を蒸着した上でのワイドバンドギャップ半導体側からの超短パルスレーザー光照射が金属材料の飛散を抑え、高温高圧場を閉じ込める役目を果たすことに着目し、新奇金属合金の形成を目指して研究を行っているので紹介する。