講演情報
[22p-32A-7]CNT膜へのマイクロPNパターニングを実現するエアロゾルドーピングシステムの開発
〇鈴木 大地1、寺崎 正1 (1.産総研SSRC)
キーワード：
カーボンナノチューブ,ドーピング
カーボンナノチューブ膜へのドーピング技術はデバイス作製に向けた重要技術であり、高い電子・正孔供給能力を有するドーパントや大気下で１年を超えるN型安定化技術等が精力的に研究・報告されている。今回、我々はPNパターニングの微細化実現に向け、ドーパント液を粒径の小さなエアロゾルとし精細なドーピングを行うエアロゾルドーピングシステムを開発したのでこれを報告する。