講演情報
[22p-52A-2]少数実験データに対する機械学習を活用したパターン倒壊抑制に有効な昇華材料の探索
〇國枝 省吾1、佐々木 悠太1、塙 洋祐1、尾辻 正幸1、上島 仁2、新谷 俊了2、中島 翔太2、吉田 亮3 (1.株式会社SCREENホールディングス、2.株式会社システム計画研究所、3.統計数理研究所)
キーワード：
機械学習,マテリアルズインフォマティクス,半導体
微細半導体デバイスの洗浄後のパターン倒壊現象の抑制には昇華乾燥法が有効である。昇華乾燥法におけるパターンの倒壊率は昇華材料に大きく依存するため、倒壊率を最小化できる昇華材料を探すことが重要となる。本発表では、少数の実験倒壊率データに対する機械学習による予測モデルの作成、予測モデルに基づく材料の選定とパターン倒壊率の実験および選定手法の効果について一連の結果を報告する。