[23a-13M-1~11] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

11:30 〜 11:45

[23a-13M-10] 補償光学を備えるインシステム最適化計算機ホログラムによるホログラフィックレーザー加工機

〇高橋 康一¹、長谷川 智士¹、早崎 芳夫¹ (1.宇都宮大オプティクス)

キーワード：

ホログラフィックフェムト秒レーザー加工,計算機ホログラフィー,補償光学

本研究では高スループットで高精細なフェムト秒レーザー加工の為に，ホログラフィックレーザー加工でビーム成型を行いながら補償光学及びCGHのインシステム最適化によりSLMをはじめとした光学素子や加工環境による波面の歪み解消を行った．