[23a-31A-1~9] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

9:15 〜 9:30

[23a-31A-2] チタニルアセチルアセトナートを前駆体としたNb:TiO₂薄膜のミストCVD成膜

有賀 恵美¹、内藤 蓮人¹、中村 彩夏¹、牧内 楓¹、簾 智仁²、中山 亮²、清水 亮太²、金子 健太郎³、一杉 太郎²、〇山田 直臣¹ (1.中部大院工、2.東大院理、3.立命館大)

キーワード：

Nb-doped anatase TiO2,ミストCVD