[23a-61A-1~6] エネルギーハーベスティングのフロンティア　ーGXに挑戦する若手研究者たちー

9:35 〜 10:05

[23a-61A-3] フォノニックナノ構造を有するシリコン薄膜熱電ハーベスタ

〇柳澤 亮人¹、ルーサー パトリック²、パウロ オリバー²、野村 政宏¹ (1.東大生研、2.フライブルク大)

キーワード：

熱電変換,シリコン,エナジーハーベスティング

エナジーハーベスタ応用に向けて、シリコン薄膜を用いた熱電発電素子の開発を行った。シリコン薄膜を用いた平面型発電素子は、作製スループットが高く分散性に富む利点がある。性能向上に向けてはシリコン薄膜の熱伝導率低減が有効であり、フォノニックナノ構造を用いた熱伝導制御により、従来の10倍高い性能が得られた。シリコン系材料を用いた平面型発電素子として世界最高性能の発電密度1.3 μWcm^-2K^-2を達成した。