[23p-12H-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

13:30 〜 13:45

[23p-12H-1] [第55回講演奨励賞受賞記念講演] Ce, Mn共置換ZnO薄膜の作製と強誘電性

〇小川 零¹、玉井 敦大¹、田中 清高¹、足立 秀明¹、神野 伊策¹ (1.神戸大工)

キーワード：

ZnO,ウルツ鉱型強誘電体

2019年にAl_1-xSc_xN薄膜における強誘電性が報告されて以来、ウルツ鉱構造結晶における強誘電性の発現が注目を集めている。また、ZnO系においては，2021年，Ferriらによって，Zn_1-xMg_xO薄膜の強誘電性が報告された。我々は、CeおよびMnで共置換したZn(Ce,Mn)O薄膜において、強誘電性を発現させたので、前回の応用物理学会で報告した。