[23p-12N-1~15] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

13:45 〜 14:00

[23p-12N-2] γ-Mo₂Nバッファー層を用いた溶融石英基板上のNbTiN膜の成膜と評価

〇牧瀬 圭正^1,2,3、山森 弘毅^1,3、小嶋 崇文^1,2、鵜澤 佳徳^1,2 (1.国立天文台、2.総研大、3.産総研)

キーワード：

超伝導体,薄膜,ジョセフソン接合