講演情報
[24a-11E-3]高い群屈折率Si SLG構造のトポロジカル最適化
〇安藤 雅隆1、廣谷 圭祐1、馬場 俊彦1 (1.横国大院工)
キーワード：
Siフォトニクス,SLG,PCW
フォトニック結晶導波路（PCW）やスローライト回折格子（SLG）を組み合わせた光集積型FMCW LiDARの開発が進んでいる。従来のSLGでは最大上方放射率95%を実現したが、最適化後に群屈折率が低下しビームスキャン効率が悪化したため、今回は高い群屈折率のPCWをベースにしたSLGの設計を行った。トポロジカル最適化を導入し、最大80.7%の上方放射率を達成し、放射係数やビーム半値全幅も改善された。