講演情報
[24a-1BB-3]ダイヤモンド量子センサを用いたパワエレ用軟磁性薄膜のMHzまでの交流磁気特性のイメージング
〇北川 涼太1、中司 碧1、孝橋 照生2、辻 赳行1、仁田 帆南1、水野 皓介1、高村 陽太1、岩﨑 孝之1、中川 茂樹1、波多野 睦子1 (1.東工大工、2.日立製作所)
キーワード：
ダイヤモンド量子センサ,軟磁性材料
低鉄損な軟磁性材料の開発に向け、ダイヤモンド量子センサを用いたMHz帯域までの交流磁場イメージング系を構築し、パワエレ用CoFeB-SiO2薄膜の漏れ磁場を強度位相同時イメージングした。磁場の振幅のエッジへ集中し、これは磁性体の均一性を示唆する。振幅・位相は2.3 MHzまで一定で、位相遅れは0°であった。位相遅れ0°は鉄損ゼロを意味する。ダイヤモンド量子センサは鉄損のイメージングに有効である。