講演情報

[24a-21C-5]単結晶AlN基板上高反射AlGaN/AlN系深紫外分布ブラッグ反射鏡

〇鷲山 瞬1、松下 智紀1、井上 振一郎1 (1.情通機構)

キーワード:

窒化アルミニウムガリウム,分布ブラッグ反射鏡,有機金属化学気相成長法