講演情報
[24a-22B-7]フレキシブルカーボンナノチューブ薄膜トランジスタの低周波雑音の評価
〇黒宮 英斗1、内山 晴貴1、松永 正広2、片浦 弘道3、大野 雄高1,2 (1.名大工、2.名大未来研、3.産総研)
キーワード：
カーボンナノチューブ薄膜トランジスタ,低周波雑音
優れた電気的特性と機械的柔軟性を持つカーボンナノチューブ薄膜トランジスタ(CNT TFT)は、フレキシブルエレクトロニクスへの応用が期待されている。微弱な心電や脳波の計測においては、低周波雑音の低減が重要である。柔軟なポリエチレンナフタレート基板のCNT TFTの低周波雑音を評価したところ，Hooge定数はSi/SiO2基板上のCNT TFTと遜色ない値であった。