講演情報

[24a-32A-5]17 μm画素ピッチ非冷却グラフェン赤外線検出器の開発

〇福島 昌一郎1、嶋谷 政彰1、岩川 学1、小川 新平1 (1.三菱電機 (株))

キーワード:

赤外線センサ,グラフェン,MEMS