2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
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11:00 〜 11:15
[24a-71A-8]
77-500 Kの温度領域でのテラヘルツ時間領域エリプソメトリ
今村 遼亮
1
、〇永井 正也
1
、芦田 昌明
1
(1.阪大院基礎工)
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キーワード:
エリプソメトリ,テラヘルツ
我々は透過配置のテラヘルツ時間領域分光システムに挿入するだけで77-500 Kの温度領域でのテラヘルツ時間領域エリプソメトリを簡単に行える素子を開発したので報告する。
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