講演情報
[24a-P04-5]SLMを用いたガラス間の並列一括超短光パルスマイクロ接合
〇(B)川内 望蒼1、玉木 隆幸1 (1.奈良高専)
キーワード：
フェムト秒レーザー,空間光位相変調器,マイクロ接合
本研究では，空間光位相変調器（Spatial Light Modulator: SLM）を用いて任意の個数の集光点を形成し，ガラスの多点同時接合の可能性を探索した．実験では，多点同時接合と従来の単点を複数回走査する多点接合とを行いそれらを比較した．その結果，多点同時接合の場合，先に形成された接合痕が後に形成される接合痕から影響を受けずクラックの少ない接合を実現することができた．