[24p-12M-1~21] 16.3 シリコン系太陽電池

15:30 〜 15:45奨励賞エントリー

[24p-12M-10] アモルファスSiのスパッタとスピンオンドーピングによる高品質正孔選択性コンタクトの形成

〇(B)大森 康生¹、Li Shasha¹、宮島 晋介¹ (1.東工大)

キーワード：

TOPCon 太陽電池,SIH4フリープロセス,スピンオンドーピング