2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
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16:30 〜 16:45

[24p-1BB-11]高いオフ角をつけた(111)ダイヤモンド基板によるCVDダイヤモンド膜の歪の低減

〇(P)辻 赳行1、真榮 力1、岩崎 孝之2、波多野 睦子2、寺地 徳之1 (1.物質材料研究機構、2.東工大)

キーワード：

CVDダイヤモンド,NVセンタ

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