講演情報

[24p-1BB-11]高いオフ角をつけた(111)ダイヤモンド基板によるCVDダイヤモンド膜の歪の低減

〇(P)辻 赳行1、真榮 力1、岩崎 孝之2、波多野 睦子2、寺地 徳之1 (1.物質材料研究機構、2.東工大)

キーワード:

CVDダイヤモンド,NVセンタ