2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
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16:30 〜 16:45
[24p-1BB-11]
高いオフ角をつけた(111)ダイヤモンド基板によるCVDダイヤモンド膜の歪の低減
〇(P)辻 赳行
1
、真榮 力
1
、岩崎 孝之
2
、波多野 睦子
2
、寺地 徳之
1
(1.物質材料研究機構、2.東工大)
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キーワード:
CVDダイヤモンド,NVセンタ
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