ナノダイヤモンド中の窒素空孔(NV)センタに薄膜を被膜することで、熱接触抵抗や電荷状態の変化などを改善できる可能性があるが、NVセンタに薄膜を被膜することがどのような影響を及ぼすかは明らかではない。本研究では、HfO₂薄膜を追加成膜したとき、光検出磁気共鳴(ODMR)を用いた測定に及ぼす影響を調べた。膜厚とODMRスペクトルの中心周波数を測定した結果、膜厚の増加により中心周波数が高周波側にシフトすることが分かった。