講演情報
[24p-1BB-9]窒素ドープCVDダイヤモンド(001)自立結晶の成長
〇寺地 徳之1、真栄 力1 (1.物材機構)
キーワード：
NVセンタ,ダイヤモンド成長,化学気相成長
ダイヤモンドのNV–センタを利用した微弱磁場検出の研究が世界中で盛んに研究されている。より高い磁気感度を得るには、ダイヤモンド結晶中の窒素濃度 [N]を1～30 ppmの濃度範囲で制御する必要がある。本研究では、窒素をドープした自立結晶をマイクロ波プラズマ化学気相成長法（MPCVD）によって成長し、これらの自立結晶中に形成された窒素関連の点欠陥の種類と濃度を評価した。