講演情報
[24p-P01-5]Pb(Zr,Ti)O3薄膜の逆圧電特性に対する水素ガスの影響評価
〇竹内 彬1、神野 伊策1 (1.神戸大学)
キーワード：
圧電薄膜,信頼性
PZT薄膜の逆圧電特性は，比較的大きな電界を長時間印加するため圧電特性の劣化が実用上の大きな課題となる．圧電薄膜の圧電特性等の劣化の要因としてこれまで酸素空孔の移動や水が分解することによって生じる水素の影響が報告されている．本研究では，長期信頼性の評価手法として、水素ガス雰囲気下でPZT圧電薄膜にDC電圧を加え，その逆圧電特性の変化を調べた．