講演情報

[24p-P04-4]相転移カルコゲナイド薄膜表面の構造解析と化学組成分析

〇新井 イサム1、粟津原 奨太1、片岡 純1、坂井 穣2、桑原 正史3、片野 諭1 (1.東洋大理工、2.豊島製作所、3.産総研)

キーワード:

GST,カルコゲナイド,相変移現象