2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
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講演情報

[24p-P05-35]CSD法によって成膜したVO2膜の特性におよぼす積層回数の影響

〇山田 知紀1、田橋 正浩1、高橋 誠1、後藤 英雄1 (1.中部大工)

キーワード：

VO2,CSD法

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