講演情報

[24p-P05-36]CSD 法によって成膜した酸化バナジウム膜の酸化数におよぼす焼成温度と酸素分圧の影響

〇山田知紀¹、田橋正浩¹、高橋誠¹、後藤英雄¹ (1.中部大工)

酸化バナジウム,CSD法