講演情報
[25a-11F-10]プラズモニック回折構造による近赤外フォトディテクタの受光感度増強の実証
〇上野山 聡1、田中 和典1、藤原 弘康1、渡邊 明佳1、寺西 信一2、小野 篤史2 (1.浜ホト中研、2.静岡大学)
キーワード：
プラズモン,ナノフォトニクス,光検出器
近赤外帯域はSi内部で光吸収が十分にされず，高感度化に向けた研究が盛んにおこなわれている．プラズモニック回折構造は特定の波長の光に共鳴し，Si内に大きな角度で回折した光を透過させることができるためSi内の実行光路長を増加し受光感度の増強が期待できる．本発表ではイメージセンサ実装の前段としてフォトディテクタ上にプラズモニック回折構造を作製した結果，波長905 nm帯域での受光感度増強を実証した結果を報告する．