講演情報
[25a-12N-9]集束ヘリウムイオンビーム照射によるYBCO dc-SQUIDの作製
〇(M1)野崎 智義1,2、三澤 哲郎1、石田 茂之1、小川 真一1、森田 行則1、永﨑 洋1、内田 慎一3、西尾 太一郎2、浦野 千春1 (1.産総研、2.東京理科大、3.東大)
キーワード：
ヘリウムイオン顕微鏡技術,SQUID,ジョセフソン接合
我々は、ヘリウムイオン顕微鏡技術による集束ヘリウムイオンビーム（He-FIB）描画加工技術を用いて銅酸化物高温超伝導体YBa2Cu3O7-δ（YBCO）薄膜上に障壁層を描画加工することでジョセフソン接合（JJ）を作製に取り組んできた。今回、超伝導量子干渉素子（SQUID）、特に超伝導体のループ上に並列に並ぶ２つのJJで構成されるdc-SQUIDの構造をHe-FIBでYBCO薄膜上に作製し、電気特性の磁場依存性の確認を試みた。