[25a-P05-1~8] 16 非晶質・微結晶（ポスター）

[25a-P05-3] ミストCVD法によるGa_1-yT_yO_x混晶系酸化膜の作製及び評価

〇新船 幸二¹、植野 守¹、中野 篤史¹、前田 光治¹ (1.兵県大工)

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