[10a-A21-1~13] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

11:15 〜 11:30奨励賞エントリー

[10a-A21-9] OVPE法によるMgイオン注入GaN大気圧活性化プロセスの高温化検討

〇横井 創吾¹、宇佐美 茂佳¹、今西 正幸¹、隅 智亮²、滝野 淳一²、岡山 芳央²、横山 正史³、秦 雅彦⁴、田中 敦之⁵、本田 善央⁵、天野 浩⁵、丸山 美帆子¹、吉村 政志⁶、森 勇介¹ (1.阪大院工、2.パナソ ニックホールディングス(株)、3.住友化学(株)、4.伊藤忠プラスチックス(株)、5.名大未来研、6.阪大レーザー研)

キーワード：

窒化ガリウム、活性化、酸化物気相成長