講演情報
[10a-A23-8]非晶質前駆体の固相成長による多結晶InAs薄膜の熱電性能向上
〇清野 碩1、野沢 公暉1、Seo Jisol1、末益 崇1、都甲 薫1 (1.筑波大理工)
キーワード：
半導体、結晶成長、熱電特性
本講演では、石英ガラス基板上に形成した多結晶InAs薄膜の固相成長と熱電特性について報告する。In/As比および熱処理温度を変調した結果、Asリッチ条件で非晶質前駆体が形成され、熱処理後に結晶粒成長が促進された。これにより粒界散乱が低減し、電気伝導率が向上した。最適条件では室温で310 μW m−1 K−2の出力因子を達成し、固相成長法がInAs薄膜の熱電性能向上に有効であることを示した。