[10a-B31-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

11:30 〜 11:45奨励賞エントリー

[10a-B31-10] (111)配向PbZrO₃エピタキシャル薄膜における反強誘電相の安定性に及ぼす膜厚の影響

〇(M1)大谷 晃生¹、近藤 真矢¹、山田 智明¹ (1.名大工)

キーワード：

反強誘電体材料

反強誘電体PbZrO₃薄膜は膜厚や歪みにより相安定性が変化する。本研究では、(111)配向エピタキシャルPbZrO₃薄膜を作製し、XRD、P-E測定、PFMにより膜厚依存性を評価した。厚膜ではAFE相、薄膜ではFE相の安定化が示唆され、相制御機構の理解に有用な知見を得た。