[10a-B31-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

9:30 〜 9:45奨励賞エントリー

[10a-B31-3] BiFeO₃エピタキシャル薄膜における圧電応答の解析

〇藤原 輝羅¹、吉村 武^1,2 (1.阪公大工、2.豊橋技科大)

キーワード：

圧電体薄膜、エピタキシャル膜、BiFeO3

圧電発電素子の高性能化に向け、Mn置換BiFeO₃エピタキシャル薄膜を作製し、圧電特性と各種材料特性との関係を評価した。XRDおよびP–E測定により、結晶性の低下した一部領域を除き良好な結晶性と強誘電性を確認した。同程度の飽和分極量を有する試料でも圧電定数はばらつき、ε_rP_rとの明瞭な相関も認められなかった。これらの結果から、BiFeO₃薄膜の圧電応答には外因的効果が支配的であることが示唆された。