講演情報
[10a-E101-4]GaN LD光源一体集積に向けた青色波長帯光フェーズドアレイの開発
〇遠山 健1、芹川 昂寛1、小川 尚史1 (1.日亜化学工業(株))
キーワード：
光フェーズドアレイ、光集積回路、光導波路
複数の導波路から出射した光を干渉させ、相対位相を制御することでビーム走査を行う光フェーズドアレイ（OPA）は、AR、レーザー加工、バイオサイエンスなどへの応用が期待されている。本研究では、LD光源一体型OPAの実現に向けた検証として、GaN LD光源へモノリシック集積した実績のあるSiON/SiO2導波路を用いたOPAを作製し、青色波長帯におけるビーム走査を確認したので報告する。