[10a-E203-1~11] 17.2 基礎物性

9:15 〜 9:30奨励賞エントリー

[10a-E203-2] AFMを用いた熱膨張場計測手法によるh-BNヒートスプレッダ評価

〇(M1)波多野 雄也^1,2、渡辺 賢司¹、谷口 尚¹、森山 悟士^1,2、岩切 秀一¹ (1.NIMS、2.電機大工)

キーワード：

六方晶窒化ホウ素、原子間力顕微鏡

二次元（2D）デバイスでは、ジュール熱による局所的なホットスポットが信頼性低下の要因となる。本研究では、h-BNヒートスプレッダの効果を温度ではなく熱膨張挙動の観点から評価するため、原子間力顕微鏡（AFM）を用いた計測手法を開発した。h-BN有無における基板内の熱膨張分布を直接計測・可視化し、ヒートスプレッダによる熱拡散効果の評価を目指す。