[10a-E218-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

11:30 〜 11:45

[10a-E218-10] 光ファイバーバンドルを用いた光学干渉非接触温度測定法（OICT）システムにおけるファイバーバンドルの構成に関する検討

〇八木 太陽¹、小野 遥夢¹、YU JIAWEN¹、花房 宏明¹、東 清一郎¹ (1.広大院先進理工)

キーワード：

半導体、温度測定