講演情報
[10a-E218-9]枚葉式キュア装置におけるガス流速・温度のウェハ面内分布の解析
〇(M2)伊藤 榛紀1、関 琢磨1、間脇 武蔵1,2、黒田 理人1,2 (1.東北大工、2.東北大(NICHe))
キーワード：
キュア、シミュレーション、ポリイミド
本研究では、枚葉式キュア装置におけるウェハ面内の特性ばらつき要因として考えられる、チャンバー内のガス流速とガス温度のシミュレーションを行った。シミュレーション結果からウェハ上のガス流速とガス温度の面内分布を解析した。今後、ポリイミドキュアを行い、キュア前後の膜厚変化率と、シミュレーションから得られたガス速度、温度分布を比較し、ポリイミドキュアにおける面内ばらつきの要因を検討する。