[10a-E301-1~12] 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

9:00 〜 9:15奨励賞エントリー

[10a-E301-1] ミスト化学気相堆積法による低接触抵抗アナターゼ型NbドープTiO₂薄膜の低温形成

〇川口 智輝¹、有賀 恵美¹、簾 智仁²、三浦 弓恵²、中山 亮²、中村 吉伸²、清水 亮太³、Htet Su Wai⁴、川原村 敏幸⁴、一杉 太郎²、山田 直臣¹ (1.中部大院工、2.東大院理、3.分子研、4.高知工大)

キーワード：

アナターゼ型TiO2、ミスト化学気相堆積法、燃料電池