[10a-E311-1~10] 7.2 電子ビーム応用

9:45 〜 10:00

[10a-E311-4] 透過電子顕微鏡カメラのMTF測定に向けたエッジ状試料の作製と評価

〇(M1)上田 颯眞¹、石田 高史^1,2、石田 裕一¹、齋藤 晃^1,2 (1.名大院工、2.名大未来研)

キーワード：

透過電子顕微鏡、MTF