[10a-E311-1~10] 7.2 電子ビーム応用

10:45 〜 11:00奨励賞エントリー

[10a-E311-7] 高密度材料を被覆した電子ビームサイズ計測用試料の提案

〇(M2)山本 隼大¹、早田 康成¹ (1.筑波大数理)

キーワード：

電子ビームサイズ、電子散乱

SEMの電子ビームサイズ評価用シリコンL/S試料は高加速電圧でコントラストが低下する問題がある。本研究では高密度材料HfOをシリコンパターンに被覆した試料を提案し、JMONSELシミュレーションでCNRとビームサイズ推定値を評価した。HfO被覆によりCNRが向上し、傾斜角変動に対する推定値の安定性が改善されることを確認した。