講演情報

11:15 〜 11:30

[10a-E311-9]走査電子顕微鏡における気体中後方散乱電子信号のシミュレーション

〇小林太陽¹、安田雅昭¹ (1.阪公大院工)

走査電子顕微鏡、後方散乱電子信号、気体中試料

我々は、走査電子顕微鏡における気体中の試料からの後方散乱電子信号のシミュレーション解析を実施している。本研究では、像信号コントラストへの観察条件依存性について解析した結果を報告する。電子軌跡の解析には電子散乱のモンテカルロシミュレーションを用いた。