講演情報

[10a-F211-3]Cristobalite的SiO2中の余剰Si輸送に関する検討

〇影島 博之1、Seo Insung1、秋山 亨2、白石 賢二3 (1.島根大、2.三重大、3.東北大)

キーワード:

シリコン酸化膜、余剰Si輸送、第一原理計算

今回、バルクcristobalite中の余剰Si輸送を取り上げ、等方的に歪ませた場合の計算を行い、Si-O-Siネットワークのトポロジーの違いがどのような影響を及ぼすのか検討を行った。余剰Siは従来と同様格子間SiO(ISiO)であるとしている。