[10a-F211-1~8] 13.3 絶縁膜技術 | 2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会

セッション詳細

一般セッション(口頭講演)13 半導体：13.3 絶縁膜技術

2026年9月10日(木) 9:00 〜 11:00

F211 (フロンティア応用科学研究棟)

9:00 〜 9:15

〇神山栄治^1,2、末岡浩治² (1.グローバルウェーハズ・ジャパン㈱、2.岡山県立大情報工)

9:15 〜 9:30

〇松原滉英¹、神山栄治²、竹内和歌奈¹、五島敬史郎¹、田岡紀之¹ (1.愛知工大、2.グローバルウェーハズ・ジャパン)

9:30 〜 9:45

〇影島博之¹、Seo Insung¹、秋山亨²、白石賢二³ (1.島根大、2.三重大、3.東北大)

9:45 〜 10:00奨励賞エントリー

〇(M2)Wen Hengyu¹、津田泰孝²、岡部優希¹、吉越章隆²、高桑雄二³、小川修一¹ (1.日本大学、2.原子力機構、3.東北大学)

10:00 〜 10:15

〇鳥海明¹ (1.自由業)

10:15 〜 10:30

〇鬼塚翔平¹、上野智雄¹、岩崎好孝¹ (1.農工大院工)

10:30 〜 10:45

〇酒池耕平¹、東清一郎² (1.広島商船高専、2.広大院先進理工)

10:45 〜 11:00

〇(M1C)武田成瑚¹、宮川勇人¹、高橋尚志¹、栗田久嗣²、中村真貴²、神垣良昭³ (1.香川大学、2.ローム浜松工場、3.EBL)