講演情報
[10a-F212-4]自己組織化単分子膜を用いた水素終端ダイヤモンドFETの電気特性改善
〇鎌田 泰幸1、鳴瀬 駿1 (1.大熊ダイヤモンドデバイス株式会社)
キーワード：
水素終端ダイヤモンド、自己組織化単分子膜、電界トランジスタ
水素終端ダイヤモンドFETの高性能化を目的として、自己組織化単分子膜を用いたダイヤモンド基板中のホールキャリア濃度増加とFETの電気特性改善を検討した。ダイヤモンド表面に自己組織化単分子膜を形成し、その上にゲート絶縁膜を形成したFETを作製した。電気特性を確認した結果、従来（未適用）よりドレイン電流が４倍以上増加することを確認した。本内容の詳細は当日報告する。