[10a-N101-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

9:00 〜 9:15奨励賞エントリー

[10a-N101-1] 低温スパッタ法によるSiドープAlNの成長温度依存性

〇小坂 鷹生¹、上野 耕平¹、藤岡 洋¹ (1.東大生研)

キーワード：

窒化アルミニウム、スパッタリング、エピタキシー