[10a-N101-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

10:15 〜 10:30奨励賞エントリー

[10a-N101-6] スパッタ・アニール法を用いたN極性AlNのスパッタ条件依存性

〇玉野 智大¹、正直 花奈子^1,2、赤池 良太^1,2、安永 弘樹^2,3、三宅 秀人^1,2 (1.三重大院工、2.三重大 半導体・デジタル未来創造センター、3.三重大 研究基盤推進機構)

キーワード：

窒化アルミニウム、窒素極性、スパッタリング