[10a-N102-1~9] KS5 原子層プロセス研究会

9:00 〜 9:30

[10a-N102-1] [分科内招待講演] 酸化物半導体の原子層堆積技術

〇髙橋 崇典¹、浦岡 行治¹ (1.奈良先端大)

キーワード：

酸化物半導体、原子層堆積

酸化物半導体における原子層堆積技術の技術動向を概説し、本研究グループの研究成果を紹介する。