[10a-N102-1~9] KS5 原子層プロセス研究会

10:45 〜 11:15

[10a-N102-6] [分科内招待講演] 原子層プロセスにおける高アスペクト比構造内部：計測に基づく活性種輸送と反応深さの可視化

〇堤 隆嘉¹ (1.名大)

キーワード：

原子層プロセス、プラズマ、表面反応