[10a-PA3-1~15] 13.8 光物性・発光デバイス

[10a-PA3-10] PL, PDSによるGaN薄膜に対するプロセスダメージの観測

〇万年 大地¹、齋藤 太助^2,3、太田 知諭¹、山口 智広¹、尾沼 猛儀¹、角谷 正友³、本田 徹¹ (1.工学院大、2.筑波大、3.物材機構)

キーワード：

半導体、PL、PDS